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发布日期：2024-12-06 01:03 点击次数：60
创客君获悉，南京埃米仪器科技有限公司（以下简称“埃米仪器”）近日完成数千万元Pre-A轮融资，由博将老圭表投。
本轮融资将用于进一步进步先进半导体制程用的高精密量测开辟的国产替代能力，丰富家具种类，加大市集开拓力度能力。
埃米仪器诞生于2022年8月， 是一家力争于于研发和坐褥用于芯片制造高精密量测开辟的时间企业。公司坐落于南京江北新区研创园，诞生以来一直引颈国内高精密3D量测开辟的国产化，攻克中枢时间。
公司以芯片制造企业为主要客户，家具聚焦于纳米/亚纳米级三维结构的高精密高速量/检测装备，主要利用于芯片制程中的微结构量测和舛错检测，责罚关系边界的卡脖子时间。
埃米仪器创举东谈主、海归后生科学家杨见飞博士曾在海外顶尖半导体开辟公司负责开发先进封装和量测开辟核默算法开发和架构规画，制定开辟算法道路图。
现时，埃米仪器领有一支以国度级东谈主才为主的研发中枢团队，当今已与南京大学、山东大学、南智光电参谋院等国表里科研院所、机构配置了密切联接关系。
公司家具从首先的工艺开发到样机测试和市集对接，大部分齐在南智光电参谋院建设的光电时间鼎新中心这一平台内完成。“至少匡助咱们镌汰了50%的研发周期。”谈起团队服从的落地发展，杨见飞充满了信心。
当今，埃米仪器通过恳求专利构筑时间壁垒，公司已得到专利授权20余项，关系专利掩饰原子力显微镜和光学量测开辟，波及光电器件、精密机械、定位系统、电气规画等。
埃米仪器家具利用边界
量测开辟是位列刻蚀、薄膜千里积、光刻后第四大市集的半导体开辟，限度占半导体开辟市集份额的15%傍边。量测开辟能在坐褥中监测、识别、定位、分析工艺舛错，对晶圆厂实时发现问题、改善工艺、提高良率，起到至关紧要的作用。
据了解，原子力显微镜（AFM）是当今精度最高的量测开辟之一（原子级，约为一根头发丝的60万分之一），亦然当今惟一能集检测和教育为一体的时间技巧。不错利用于局部大约度量测、高尚宽比三维结构量测、键合三维结构、光罩教育、光刻和刻蚀要津尺寸量测等标的。
跟着集成电路制程链接朝高端鼓吹，AFM在先进制程中正在成为主力量测开辟，海外巨头（ASML等）已驱动进行布局。其中以在线原子力显微镜为主打家具的荷兰Nearfield Instruments（曾得回淡马锡、三星等多家海外老本累计近2亿欧元的融资）已被列入欧盟要点保护/守旧企业之一。
而埃米仪器是国内惟逐一家将在线工业级原子力显微镜家具推向高端制程的公司，埃米仪器工业级高通量原子力显微镜时间道路已得到客户的认同和任意守旧。
AFM主要由扫描灵活显微镜(STM)发展而来，AFM通过一个微细的针尖与样品名义互相作用，以已毕高辞别率的名义成像。针尖与样品之间的互相作使劲不错是劝诱力或斥力。凭证针尖与样品名义之间的距离和作使劲的性质，AFM主要有三种成像花式：斗争花式、非斗争花式和轻敲花式。
在线工业级原子力显微镜量测开辟APEX-X1（全自动机台）
科研级原子力显微镜量测开辟APEX-1000 （半自动机台）
赶走当今，埃米仪器已推出在线工业级原子力显微镜量测开辟APEX-X1（全自动机台）、科研级原子力显微镜量测开辟APEX-1000 （半自动机台）、高速光学扫描抽象仪UltraView-1000、UltraView-2000等。
昔时，埃米仪器将合手续推出混杂量测开辟、高通量原子力显微镜等开辟。其在线工业级原子力显微镜APEX-X1已完成某芯片头部企业的家具端庄拜托。
本文素材开端：
企查查、IT桔子、埃米仪器官网
南京日报《科技服从滚动，南京一“贯”到底》
博将老本《埃米仪器完成数千万元Pre-A轮融资，博将老圭表投》
创客公社剪辑整理
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